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是哪些原因影響了X光鍍層測(cè)厚儀的可靠性?
更新時(shí)間:2020-12-24   點(diǎn)擊次數(shù):1251次
   像其他儀器一樣,X光鍍層測(cè)厚儀使用從探頭通過非鐵磁涂層流入鐵磁基體的磁通量來測(cè)量涂層厚度。也可以測(cè)量相應(yīng)的磁阻來表示涂層厚度。因此,必須影響待測(cè)試基板的電磁物理特性和物理尺寸。磁通量和渦流的大小。這影響了測(cè)量值的可靠性,下面將介紹以下問題。
  1.邊界距離如果探頭與被測(cè)物體邊界、孔眼、腔體等截面的距離小于規(guī)定的邊界間隙,測(cè)量誤差將由磁通量不足或渦流載體截面引起。如果此時(shí)需要測(cè)量涂層厚度,則只能在相同條件下,在未涂層表面上預(yù)先校準(zhǔn)來測(cè)量。
  2.將基板表面曲率校準(zhǔn)到直線對(duì)比樣品上的初始值,然后測(cè)量涂層厚度后減去初始值。
  3.基底金屬的小厚度基底金屬必須具有給定的小厚度,以便探針的電磁場(chǎng)可以*包含在基底金屬中。小厚度與測(cè)量設(shè)備的性能和金屬基底的特性有關(guān)。不校正測(cè)量值進(jìn)行測(cè)量。對(duì)于基底厚度不足的影響,可以采取措施將一塊相同的材料緊緊地粘附在基底下面以消除它。如果很難或不可能添加基底,可以通過與已知涂層厚度的樣品進(jìn)行比較來確定與額定值的差異。并在測(cè)量中考慮到這一點(diǎn),相應(yīng)地修正測(cè)量值或參考第2條進(jìn)行修正。那些可以校準(zhǔn)的儀器可以通過調(diào)節(jié)旋鈕或按鈕獲得準(zhǔn)確的直讀厚度值。相反如上所述通過利用過小厚度的影響,可以開發(fā)用于直接測(cè)量銅箔厚度的測(cè)厚儀。
  4.表面粗糙度和表面清潔度為了獲得粗糙表面的代表性平均測(cè)量值,需要進(jìn)行多次測(cè)量。顯然,基底或涂層越粗糙,測(cè)量的可靠性就越差。為了獲得可靠的數(shù)據(jù),基底的平均粗糙度Ra應(yīng)小于涂層厚度的5%。應(yīng)清除表面雜質(zhì)。一些工具有上限和下限來消除這些飛點(diǎn)。
  5.涂層材料中的鐵磁和導(dǎo)電成分涂層中某些鐵磁成分(如顏料)的存在會(huì)影響測(cè)量值。在這種情況下,用于校準(zhǔn)的對(duì)比樣品涂層應(yīng)具有與測(cè)試對(duì)象涂層相同的電磁特性,并應(yīng)在校準(zhǔn)后使用。所使用的方法可以是在鋁板或銅板樣品上涂覆相同的涂層,并在渦流試驗(yàn)后獲得對(duì)比標(biāo)準(zhǔn)樣品。

X光鍍層測(cè)厚儀

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